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华虹集成电路（成都）申请对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法，有效发现细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变:颗粒机
金融界2025年6月17日消息，国家知识信息显示，华虹集成电路（成都）有限公司申请一项名为“对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法”的，公开号CN120161667A，申请日期为2025年03月
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金融界2025年6月17日消息，国家知识信息显示，华虹集成电路（成都）有限公司申请一项名为“对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法”的，公开号CN120161667A，申请日期为2025年03月