金融界2025年6月17日消息，国家知识信息显示，华虹集成电路（成都）有限公司申请一项名为“对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法”的，公开号CN120161667A，申请日期为2025年03月颗粒机 。
摘要显示，本申请提供一种对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法，包括：步骤一，在掩模版两侧由上至下设置六对水平对准标记；步骤二，计算所述对准标记X和Y方向的线性形变，每对对准标记相应得到四组线性形变数据；步骤三，利用实施步骤二得到的数据计算掩模版两侧对准标记线性形变的非对称变化量；步骤四，根据对准标记线性形变是否出现非对称变化量的跳变来判断掩模版是否产生由细微颗粒物造成的非线性水平形变颗粒机 。根据本申请可以有效发现细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变，提升产品良率。
天眼查资料显示，华虹集成电路（成都）有限公司，成立于2023年，位于成都市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业颗粒机 。企业注册资本2280000万人民币。通过天眼查大数据分析，华虹集成电路（成都）有限公司参与招投标项目119次，信息2条，此外企业还拥有行政许可83个。
来源：金融界